應用領域
半導體封裝、3C 電子、線路板行業、生物醫療、新能源、國防航空。
產品特點
1. AL6061 材質真空腔體：級別密封，避免氣體泄露，實現高效的真空度，為等離子體創造的反應條件;
2. 采用高質量等離子射頻電源：13.56Mhz,確保高能量，高密度，均勻等離子體產生，確保出眾的表面處理效果;
3. 真空系統： 雙級旋片真空泵，真空專用電磁角閥、充氣閥、KF40 不銹鋼真空波紋管；耐高溫、抗氧化、無排放污染，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷;
4. 高精度氣體流量監測系統：三路工藝氣體配置(氬氣、氧氣、氮氣），雙路氣流控制，比例可調，采用高精度電子質量流量計(MFC)、氣體管路及閥件;
5. 電極系統，多層電極隔板設計：結構對稱損耗小，該設計對等離子激發空間均勻 性大大改善，在同一平面上等離子清洗的速率更加一致，控制電力參數由系統結 構設計獲得，能很好的控制電極的溫度均一性，使電極對等離子的可控性大大提高，同時使電極間空間利用率達到;
6. 自主研發等離子體控制系統: 可根據腔體環境精準控制等離子體發生時間和反應強度，可進行多步工藝流程處理，采用品牌電器元件, 7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線設定、修改、監控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數，采用配方式參數系統，便捷切換不同工藝流程，并具有故障報警、工藝存儲、密碼等級管理等多種功能;
7. 強大的全面安全防護系統：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，非法操作提示、清潔結束提示，各種誤操作保護功能等;
8. 處理全程無污染 ：等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。
產品參數
| 序號 | 項目 | 參數 |
| 1 | 腔體容量 | 60 升 |
| 2 | 電極板數量 | 7 層 |
| 3 | 載物托盤尺寸/數量 | L310mm x W350mm / 6 層 |
| 4 | 電極固定方式 | 插拔可拆卸 |
| 5 | 載物托盤與電極板間距 | H：35mm |
| 6 | 等離子電源 | 13.56MHz/500W 連續調節自動阻抗匹配,可連續長時間工作。 |
| 7 | 氣體流量控制 | 0-500mL/minMFC 氣體質量流量計精確控制流量 |
| 8 | 反應氣體 | 3 路，（氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體） |
| 9 | 工藝氣體供氣管路 | Φ10x6.5mm 軟管 |
| 10 | 腔體溫度 | 常溫 |
| 11 | 工作真空度 | 10-100Pa |
| 12 | 真空泵 | 雙級旋片真空泵 |
| 13 | 真空泵速率 | 60m³/h |
| 14 | 真空測定系統 | 皮拉尼真空硅管 測量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
| 15 | 真空排氣系統 | 油霧過濾器 |
| 16 | 破真空系統 | 電磁閥+調節閥+消音器 |
| 17 | 抽真空時間 | 80s 以內 |
| 18 | 破真空時間 | ≤15s |
| 19 | 輸入氣壓檢測系統 | 3 路氣壓自動報警 |
| 20 | 壓縮空氣要求 | 0.6~0.8MPa |
| 21 | 整機功率 | 4.0KW |
| 22 | 電源 | AC380V,50/60Hz，三相五線 30A |
| 23 | 外形尺寸 | W900×D930×H1650(mm) 不含三色燈高度 |
| 24 | 腔體尺寸 | W375×D455×H375(mm) |
| 25 | 重量(設備主機/真空泵） | 450KG |
