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            《石墨烯薄膜的載流子遷移率和方塊電阻測量:霍爾棒法》國際標準正式發布

            行業標準 2025年12月02日 10:48:10來源:中國科學院上海微系統與信息技術研究所 13159
            摘要該標準聚焦石墨烯薄膜在電子器件、顯示、通信和可穿戴設備等領域廣泛應用的關鍵性能參數——載流子遷移率和方塊電阻,針對當前測量方法不統一、結果難以比對的問題,首次在國際上建立了基于霍爾棒法的標準化測量流程。

              【儀表網 行業標準】近日,國際電工委員會納米電工產品與系統技術委員會(IEC/TC 113)正式發布國際標準IEC TS 62607-6-23:2025 Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-23: Graphene-related products - Sheet resistance, carrier density, carrier mobility: Hall bar method(納米制造 - 關鍵控制特性 - 第6-23部分:石墨烯相關產品 – 方塊電阻,載流子濃度,載流子遷移率:霍爾棒法)。該標準由中國科學院上海微系統與信息技術研究所王浩敏研究團隊牽頭提案并組織編制,國家納米科學中心、深圳市標準技術研究院、泰州巨納新能源有限公司以及來自德國、韓國、加拿大的專家參與制定工作。
             
              該標準聚焦石墨烯薄膜在電子器件、顯示、通信和可穿戴設備等領域廣泛應用的關鍵性能參數——載流子遷移率和方塊電阻,針對當前測量方法不統一、結果難以比對的問題,首次在國際上建立了基于霍爾棒法的標準化測量流程。該標準詳細規定了石墨烯霍爾器件的樣品制備、電極制作、保護層沉積、等離子體刻蝕等關鍵工藝步驟,提出了適用于低成本、高效率制備的硬掩模工藝,避免使用光刻工藝,顯著降低了設備門檻。此外,標準中還明確了測量系統的配置要求、環境條件、數據分析和結果報告格式,為石墨烯薄膜在透明導電膜、柔性電極等應用中的質量控制和產品開發提供了科學、可靠的測量依據。
             
              該標準的發布將有力促進石墨烯薄膜性能評價的規范化和國際化,推動石墨烯材料在高新技術領域的產業化應用和高質量發展。

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