AC系列熱式氣體質量流量控制器與PECVD爐子的關系

     模擬型和數字型的熱式氣體質量流量控制器主要是通過0-5V、4-20mA信號或RS485 modbus協議，來進行數據通信，目前在PE CVD真空設備中使用，等離子體增強化學的氣相沉積法。這種方法有很多優點，比如成膜質量好等。PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很。

     熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

     本公司的質量流量控制器和質量流量計具有響應速度快，穩定性能、準確度高、優良的耐腐蝕性，寬壓力范圍、線性度出色。目前使用在電子工藝設備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器等行業中。