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            inficon 真空計的名稱由來

            來源:深圳市科銳詩汀科技有限公司   2023年05月05日 15:45  

            inficon 真空計的名稱由來

            真空腔體的真空壓強檢測使用真空計,一般配置是:前級泵組管道配置一只PSG500;本底真空配置一只熱電離規或者冷陰極規MPG400或者BPG400;工藝壓強測量/監控配置一只CDG025D。

            1. PSG系列: Pirani Standard Gauge

            2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge

            3. CDG系列:Capacity Diaphragm Gauge

            4. BAG系列:Bayard Alpert Gauge

            5. VGC系列:Vacuum Gauge Controller

            6、BPG系列:Bayard-Alpert Pirani Gauge(B-A型皮拉尼)

            7、MPG系列:Magnetron Pirani Gauge(磁控皮拉尼)

            8、HPG系列:High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge

            9、PGE系列:Pirani Gauge Enhanced

            10、PEG系列:Penning Gauge(冷陰極潘寧規)

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