6 通道粒子計數器在半導體制造潔凈室的應用

半導體制造過程中，潔凈室的空氣潔凈度直接影響半導體產品的質量與合格率，微小的塵埃粒子可能導致半導體元件性能異常甚至報廢，因此需要專業的塵埃粒子計數儀器對潔凈室空氣進行精準監控，6 通道粒子計數器作為符合行業標準的專業設備，在半導體制造潔凈室中發揮著關鍵作用。這款 6 通道粒子計數器符合國家計量總局頒布的 JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規范》規程的技術要求，同時也滿足 GB/T 6167-2007 標準，整機采用激光散射技術，能夠對半導體制造潔凈室的粒子濃度進行實時、連續的監控，確保潔凈室環境始終符合生產需求。

在半導體制造潔凈室中，不同粒徑的塵埃粒子對生產的影響不同，6 通道粒子計數器能夠同時檢測 0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm 六個通道的粒子個數，覆蓋了半導體制造過程中需要重點關注的粒子粒徑范圍，其檢測范圍可達 1,020,000 /L，能夠滿足半導體制造潔凈室對不同濃度粒子檢測的需求。該儀器采用泵吸主動采樣方式，采樣流速可實時監測且可控，采樣間隔也能根據半導體潔凈室的不同監測需求進行調整，同時支持泵吸間歇采樣，工作連續穩定且節能環保，適配半導體制造過程中長時間、不間斷的監控場景。考慮到半導體制造潔凈室對潔凈度等級要求，這款 6 通道粒子計數器能夠滿足百級以上潔凈環境的粒子檢測需要，符合 ISO 14644-1 ISO5 級 - ISO9 級的監控級別，同時也符合 GMP 動態、GMP 靜態以及 ISO-14644-1 的判定要求，適配半導體行業的潔凈標準。

半導體制造潔凈室的環境參數會對檢測精度產生影響，6 通道粒子計數器內置濕度補償功能，能夠有效克服濕度變化對檢測精度的干擾，確保在相對濕度 10~90% RH 的使用環境下，依然能保持準確的檢測結果，其重復性相對誤差在相同測量條件下為粒子濃度連續測量值 ±10%，粒徑分布誤差≤±10%@0.5μm，計數效率達到 50%@0.3μm、99%@≥0.5μm，為半導體制造潔凈室提供可靠的檢測數據。儀器選用長壽命氣泵，在設備出廠模式下使用壽命可達 3 年以上，減少了半導體工廠在設備維護和更換上的成本與精力投入；配備的 4.3 寸 LCD 大屏能夠清晰呈現各通道實時檢測數據，方便工作人員隨時查看潔凈室的粒子濃度情況；同時具備數據存儲功能，可存儲歷史檢測數據和報警記錄，便于半導體制造過程中對潔凈室環境的追溯與分析，為生產工藝優化提供數據支持。

針對半導體制造潔凈室可能存在的粒子濃度超限問題，6 通道粒子計數器支持報警濃度設置，當潔凈室粒子濃度超，顯示屏會出現提示圖符警示，同時輸出聲光報警信號，工作人員能夠及時發現并處理潔凈度異常情況，避免不合格環境影響半導體生產。在安裝與使用方面，該儀器整體重量僅 2.3kg，外形尺寸為長 190× 寬 63× 高 156.3mm，小巧美觀，可選擇墻面安裝或桌面放置，適配半導體制造潔凈室不同的安裝空間需求；采用 12VDC 供電，提供一路 RS485 輸出且支持 MODBUS RTU 協議，方便進行組網使用，同時可擴展 4G、LORA、WIFI 無線傳輸方式，還支持 RJ45 以太網傳輸及 TCP/IP MQTT、HTTP 協議，能夠實現半導體制造潔凈室的多點監控，覆蓋潔凈室的各個生產區域，確保整體環境的潔凈穩定。

這款 6 通道粒子計數器憑借其精準的檢測能力、穩定的性能和靈活的適配性，成為半導體制造潔凈室空氣潔凈度監控的重要設備，為半導體產品的高質量生產提供保障，也為半導體工廠的潔凈室管理提供了便利，是半導體行業潔凈環境監控中的塵埃粒子計數儀器。