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ADL HX 200 / 500V 是一款面向工業(yè)濺射鍍膜領(lǐng)域的高性能直流電源,由德國ADL集團(tuán)專為嚴(yán)苛物理氣相沉積(PVD)工藝打造,額定輸出功率20 kW,輸出電壓500 V DC,額定輸出電流60 A,以精準(zhǔn)控制、穩(wěn)定運(yùn)行與智能工藝適配能力,成為光學(xué)鍍膜、工具硬質(zhì)涂層及微電子薄膜沉積的核心配套設(shè)備。
| 產(chǎn)品型號 | ADL HX 200 / 500V |
| 額定輸出功率 | 20 kW |
| 額定輸出電壓 | 500 V DC |
| 額定輸出電流 | 60 A |
| 電源轉(zhuǎn)換效率 | >94% |
| 滿載功率因數(shù) | >0.98 |
| 機(jī)架結(jié)構(gòu) | ? 19英寸 標(biāo)準(zhǔn)5U機(jī)架 |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)力水冷系統(tǒng) |
| 平均時間(MTBF) | >100 kh |
| max擴(kuò)展功率 | 280 kW(多臺并聯(lián)) |
| 輸出精度 | ±1% |
該電源的核心技術(shù)亮點(diǎn)在于智能電弧處理與高效功率輸出,針對磁控濺射過程中易出現(xiàn)的電弧缺陷,HX 200 / 500V 內(nèi)置高速弧處理電路,檢測延遲低至6 µs,滅弧時間可控制在毫秒級,電弧能量被壓制在極低水平,能自動識別并抑制微弧產(chǎn)生,且瞬時恢復(fù)正常輸出,無需人工干預(yù),有效減少靶材“打弧”斑點(diǎn),提升薄膜附著力與沉積均勻性,降低基材損耗率。
同時,其電源轉(zhuǎn)換效率>94%,滿載功率因數(shù)>0.98,在高負(fù)載工況下仍能保持低能耗運(yùn)行,符合工業(yè)節(jié)能降耗的主流需求,為企業(yè)降低生產(chǎn)過程中的能源成本,提升生產(chǎn)效益。
在結(jié)構(gòu)與散熱設(shè)計上,該電源采用? 19英寸標(biāo)準(zhǔn)5U機(jī)架結(jié)構(gòu),寬218mm、深645mm,結(jié)構(gòu)緊湊可直接集成到真空鍍膜設(shè)備中,無需額外控制柜,節(jié)省工業(yè)生產(chǎn)空間,便于設(shè)備的整體布局與集成。
冷卻方式采用強(qiáng)力水冷系統(tǒng),即使在40℃無空調(diào)車間環(huán)境下,仍能實(shí)現(xiàn)24小時滿載連續(xù)運(yùn)行,有效保障電源內(nèi)部元器件壽命,平均時間(MTBF)>100 kh,大幅降低后期運(yùn)維成本與設(shè)備停機(jī)風(fēng)險。

它具備出色的控制靈活性與系統(tǒng)擴(kuò)展性,支持恒壓、恒流、恒功率三種運(yùn)行模式,輸出精度±1%,配備可旋轉(zhuǎn)分離式顯示屏,實(shí)現(xiàn)本地參數(shù)調(diào)試與實(shí)時數(shù)據(jù)監(jiān)控,方便工藝人員現(xiàn)場操作與優(yōu)化。
同時支持Profibus、RS-485等通訊接口,可無縫接入自動化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程閉環(huán)控制,多臺電源并聯(lián)運(yùn)行時,總功率可擴(kuò)展至280 kW,滿足大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)的功率需求,為不同產(chǎn)能規(guī)模的鍍膜生產(chǎn)線提供靈活適配方案,是工業(yè)級高精度薄膜沉積工藝的可靠技術(shù)支撐。
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